•適合各種倍率LineScan相機掃描、AreaScan相機高速飛拍
•適合產品種類：Wafer、IC in tray、Micro/Mini LED面板…
•待測物最大尺寸： 400mm(W)*500mm(L)
•奧騰服務：付費樣品測試&光學設計(包括相機&光源角度、機構固定/微調、Encoder/Trigger配接…)
待測物最大尺寸： 400mm(W)*500mm(L)
有效掃描行程：300mm
平台最高速度：200mm/秒
可並排相機數量：2台
照明方式：同軸、單側光、背光、雙側側光
相機可傾斜角度：最大70°(垂直方向起算)
光學尺精度：0.1um
